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半導(dǎo)體晶圓(yuán)槳葉幹(gàn)燥機KJG

信息來源:本站 | 發布(bù)日期: 2023-10-23 14:52:19 | 瀏覽量:1589917
關鍵(jiàn)詞:半導體晶圓槳葉幹燥機KJG
半導體晶圓槳葉幹燥機KJG
技術(shù)領域
[0001] 本(běn)實用新型涉及(jí)幹(gàn)燥機技術領域,具體(tǐ)為一(yī)種槳(jiǎng)葉幹(gàn)燥機。
背景技術
[0002] 槳(jiǎng)葉幹燥機是一種在設備內部設置攪拌槳,使濕物料在槳葉的攪動下,與熱載體以及熱表麵充分接觸,從而達到幹燥目的的低(dī)速攪拌幹燥器,結(jié)構形式一般為臥(wò)式,雙軸或四(sì)軸。槳葉式(shì)幹(gàn)燥器分為熱風式和傳導式。
[0003] 現(xiàn)在對幹燥的效率和效果的要求越來越高,傳統直接(jiē)進行熱風的幹燥(zào)方式已經不能滿足需求,尤其是在一些特殊物質的幹燥上(shàng),例如半導(dǎo)體晶圓的幹燥。實用(yòng)新型內容
[0004] 針對現(xiàn)有技術的不足,本實(shí)用新型提(tí)供了一種幹燥效果好的槳葉幹燥機。
[0005] 為實(shí)現上述目的,本實用(yòng)新型提供如下技術方案:一種槳葉幹燥機,包括第一承載臂、第二承載臂、幹燥罐、水箱以及接水箱,所述水箱安裝在幹燥罐的頂部,所述接(jiē)水箱安裝在幹燥罐的底部,所述水箱的頂部設有注水口,所述注水口(kǒu)上設有密(mì)封帽,所述幹(gàn)燥罐(guàn)的前側設有(yǒu)第一密封蓋,所(suǒ)述第一密封蓋與幹燥(zào)罐鉸接,所述幹燥罐內設有殺菌裝置、轉動軸以及噴淋頭,所述殺(shā)菌裝置(zhì)為紫外線光照燈,所述殺菌裝置安(ān)裝在幹燥罐的內腔頂部(bù)以及內腔的兩端側壁上(shàng),所述(shù)噴淋頭設有多個,且安裝在幹燥罐內腔的頂部,所述噴淋(lín)頭通過導水管與水箱連通,所述(shù)轉動軸通過軸承安裝在幹(gàn)燥罐內腔的兩端,所述(shù)第一承(chéng)載臂以及第二承載臂內均設有安裝(zhuāng)槽,所述第二(èr)承載臂的安裝槽內安(ān)裝有驅(qū)動電機,所述第二承載臂上設有固定架,所述固定架上安裝有第一(yī)減速電機,所述驅動電機通過傳動齒輪(lún)與第一減速電機連接,所述轉動軸貫穿幹燥罐與第一減速(sù)電機連接,所述轉動軸上設有安裝架以及槳葉,所述幹燥罐上設有加熱器以(yǐ)及排氣閥,所述(shù)排氣閥內設有抽風機(jī)以(yǐ)及過濾區,所述過濾區內設有過濾裝置,所述幹燥(zào)罐通過排水管與接水箱連通,所述(shù)導水管(guǎn)以及排水管上均設有電(diàn)磁閥門,所述水箱上設有排水口,所述排水口上設有密封端(duān)蓋。
[0006] 進一步的,本實用新型改進有(yǒu),所(suǒ)述第一承載臂的安裝槽內安裝有轉動電機以及第二減速電機,所述轉動電機通過傳動齒輪與第(dì)二減速(sù)電機連接,所述第(dì)二減速電機(jī)上設有傳動軸,所述(shù)傳動軸(zhóu)與幹燥罐連接。
[0007] 進一步的,本實用新型改進有,所述水箱、幹燥罐以及接水箱采用鋁鎂合金材質。
[0008] 進一步的,本實用新型改進有,所述(shù)密封端蓋通過螺紋(wén)杆插入(rù)排水口內,所(suǒ)述密封端蓋的內側設有密封墊。
[0009] 進一步的(de),本實用新型改進有,所(suǒ)述水箱以及接水箱的前側設有清理口,所述清理口為(wéi)矩(jǔ)形結構,所述清理口上設有第二密封蓋,所述第一密封(fēng)蓋以及第二密封蓋的內側設有密封邊,所述密封邊上設(shè)有密(mì)封墊。
[0010] 進一步的,本實用新型改進有,所述(shù)幹(gàn)燥罐的殼(ké)體上(shàng)設有導熱層,所述加熱器上設有儲水腔,儲水腔上設有導(dǎo)水管與導(dǎo)熱層連(lián)通,所述儲水腔上設有(yǒu)注水孔。
[0011] 進一步,本實用新型改進有,所述第一密封蓋以及第二密(mì)封蓋的底部設有(yǒu)限位鎖,所述限位鎖包括旋鈕、彈簧、彈(dàn)簧架、鎖杆以及拉繩(shéng),所述鎖杆與(yǔ)彈(dàn)簧的一端焊接,所(suǒ)述彈簧的另一端與彈(dàn)簧架焊接,所述彈簧架上設有通孔,所述旋鈕(niǔ)上設有線軸,所述拉繩(shéng)的一端(duān)與線軸纏繞,另一端(duān)與穿過通孔與鎖(suǒ)杆連接,所述幹燥罐、水(shuǐ)箱以及接水箱上設有鎖(suǒ)孔與鎖(suǒ)杆連接。
[0012] 進一步的,本實用新型改進有,所述過濾裝置包括過濾網以及碳(tàn)纖維顆粒。
[0013] 與現有技術相比,本實用新型提供了一種槳葉幹燥機,具備以下有益效(xiào)果:
[0014] 本實用新型通過(guò)噴淋頭,噴淋去(qù)離子水在待幹燥物品的表麵進行清洗,同時紫外線光照燈對待幹燥物品進行消菌殺毒,在驅動電機(jī)的驅動下,轉動軸(zhóu)帶動安裝架轉動,從而帶動待幹燥物品轉動,提(tí)高清洗麵以及光照(zhào)明,從而提高對待幹燥物品的清洗以及滅菌效果,當幹燥罐內的去離(lí)子水積(jī)攢到一(yī)定容量時,在槳葉的帶動下(xià)攪拌去離子水,從而使去離(lí)子(zǐ)水與待幹燥物品衝刷清洗,進一步提高清洗效果,待幹燥物(wù)品清洗幹淨後表(biǎo)麵無殘留物,相對可增進較佳的幹燥效果。

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