本發明涉及一種薄膜（mó）製備的噴霧熱分解方法，該方法首先配製（zhì）所需金屬鹽溶液，然後經過壓縮空氣霧化器，使溶液霧化，在載流氣體的帶動（dòng）下噴進（jìn）放置有被加熱基板的容器中，霧體經過烘烤後揮發去溶劑並（bìng）進一步分解沉積在基板上成膜。該方法易於（yú）控製（zhì）化學計量比，具有良好的取向性和外延（yán）性、成本低、不需多次鍍膜，同時霧化時不發熱，而且霧量穩定，不需冷卻（què）裝置。該（gāi）方法可製備金屬氧化物薄膜（mó）。