噴霧熱分解製膜是（shì）以液體物質為製膜基料，霧化後噴射到高溫襯底上（shàng）晶化成膜。對液體要求較低，摻雜準確容易，對成膜環境要（yào）求不高，裝置和成膜工藝簡（jiǎn）單，成膜結晶溫度低，麵積大，均（jun1）勻。還可以製備超微顆粒粉（fěn）體。同（tóng）時分析了成膜機理。利用本方法已成功的製備出ＰＺＴ鐵電薄膜、ＭｇＯ薄（báo）膜、ＺｎＯ係壓薄膜、ＳｎＯ多晶膜等，並給出（chū）製膜條（tiáo）件和ＸＲＤ圖。